化工程是通過(guò)控制空氣微粒濃度、溫濕度、壓力等參數(shù)來(lái)創(chuàng)造潔凈環(huán)境的技術(shù)體系。其核心技術(shù)包括三級(jí)過(guò)濾系統(tǒng)（初效、中效、HEPA/ULPA）、氣流組織設(shè)計(jì)（單向流/非單向流）以及壓差控制?，F(xiàn)代凈化車間普遍采用FFU（風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元）模塊化結(jié)構(gòu)，配合PLC自動(dòng)控制系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)下的5級(jí)（百級(jí)）至8級(jí)（十萬(wàn)級(jí)）潔凈度。值得注意的是，分子級(jí)污染的防控技術(shù)如化學(xué)過(guò)濾器、VOCs處理裝置正成為半導(dǎo)體行業(yè)的新需求。
